气体流量控制器XLRB-D07-19B气体流量控制器XLRB-D07-19B

质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于

对气体的质量流星进行测量;质量流量控制器

(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的

质量流量进行测量和控制。它们在半导体微电

子工业、te种材料研制、化学工业、石油工业、医

药、和真空等多种领域的科研和生产中有着重

要的应用。其典型的应用场合包括;电子工艺设

备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅

射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微

反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱

仪及其它析仪器。

( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,

流量规格

300,500) CCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) LM

2

准确度

士1 % F.. (20,30LM: +2

% F..)

+0.5 % F.. (20,30LM:

3

线性

+2 % F..J

4

复

+0.2 % F..

5

响应时间

s2 sec

≤10LM: 0.1 ~ 0.5 MPa

6

工作压差

(14.5~72.5 psid)

范

> 10LM: 0.1~ 0.3 MPa

(14.5~43.5 psid)

7

大工作

1 MPa

8

耐压

3 MPa (435.1 psig)

9

工作环境

5°C~45°C

温度

0V~+5.00V.

10

输入输出

(输入阻抗大于100K,输出电

号

流不大于3mA)

11

电源

+15V 50 mA; -15V 200

mA

12

外形尺寸

见图4

13

重量

0.95 kg

注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮

气(N2)定。

质量流量的单位规定为; CCM (准升/);

LM (准升/)

准状态规定为:温度--- 273.15K (0°C );

气压- 101325 Pa (760mm

Hg)，单位CCM

和"ml /min, 0°C,1atm”等同，单位LM和"L/

min, 0°C,1atm"等同。

F.. (Full cale):满量程值

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