SU8020--日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列
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产品介绍:

日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列--SU8020

    日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测;此外在半导体应用中,还可以安装EBIC探测器,采集感生电流图像,极大丰富了信号的采集,对样品的信息的收集达到了新的高度。

特点:
1. 的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成 

项目SU8020SU8030SU8040
二次电子分辨率1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm)
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm)
加速电压0.1~30kV
观测倍率20~8000,000(底片输出)
60~2,000,000(显示器输出)
样品台
马达驱动5轴REGULUS样品台
行程X0~50mm0~110mm
Y0~50mm0~110mm0~80mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm1.5~40mm
装载尺寸100mm()150mm()150mm()
150mm(选配)200mm(选配)
探头
标配Lower高立体感图像
Upper高分辨SE、LA-BSE图像
TopSE的电位衬度像、HA-BSE图像
 
选配
STEM明场像、暗场像
YAG 探头BSE图像
半导体探头BSE图像
EBIC 电子束感生电流图像
EDS元素分析
反污染措施
冷指标配
物镜光阑内置自清洁功能
电子枪内置加热器
真空系统
离子泵3台
分子泵1台
机械泵1台

品牌/商标

日立

企业类型

制造商

新旧程度

全新

原产地

日本