JSM-6610 扫描电镜基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色，应用于生物学、植物学、地质学、冶金学等领域。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如：花粉颗粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。

在JSM-6610 扫描电镜应用中，很多集中在器件和方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流，可以观测半导体P—N结内部缺陷。

电子束与样品作用区内，还发射与样品物质其他性质有关信号。例如：与样品化学成分分布相关的，背散射电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，样品吸收电流等；与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测；与半导体材料电学性能相关的，二次电子信号、电子束感生电流信号；在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室，用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。

JSM-6610 扫描电镜对于固体材料的研究应用非常广泛，没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料全面特征的描述，扫描电镜是至关重要的。

JSM-6610A/JSM-6610LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS）组合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。

大样品室和马达驱动样品台

样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了高效率的样品移动和观察。

操作窗口

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用户

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造高效率的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。

同时显示两幅图像

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。

微细结构测量

适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。

标准的全对中样品台，能收录三维照片

3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。

从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙

分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。

维护简便

工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。

可信赖的真空系统

真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。