配置如下：

预处理腔：衬底旋转、倾斜（3D）；真空度10-8 Torr

蒸发镀膜腔：电子枪6-15KW； 

可加载4英寸衬底；衬底旋转、倾斜，和重复性优于0.01°（可升级）

真空度10-10 Torr或10-11 Torr

频率分辨率10-4 Hz或更高；速率分辨率10-3 nm/s；厚度分辨率10-2 nm

氧化腔体：静态/动态氧化（氧气、氮气等）； 

真空度<10-8 Torr 
 

全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。