用途    TB380e电动工作台为专门为半导体行业的大尺寸晶圆检验而设计的工作台，台面尺寸大、高度可以满足不同工作条件的检测需求，电动的位移控制让您的工作更便捷、更高效。 主要技术参数 ·工作台尺寸：380mmx230mm·移动范围：  280mmx200mm·高度：      75mm·空载速度：  x轴×Y轴  快 220mm/min×170mm/min                 慢 25mm/min×25mm/min                 小动作<0.5mm