清华大学仪器重点实验室LY1000非接触激光干涉仪
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无需靶镜的高激光自干涉仪

产品介绍

传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜,以反射测量光线,获得高测量效果。清华大学推出国际光的LY1000非接触式激光干涉仪,无需反射靶镜,利用待测物工件自身反射的光线即可实现高的测量

应用场所介绍

除传统激光干涉仪使用的测量目标外,还适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的测量目标,如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数等

系统特点

1无需靶镜、非接触式测量、量测可达5M

2被测物表面反射率无严格要求,可测“黑”表面

3采用激光自干涉原理,线性测量可达1*10-6次方

4无外部光学器件、无需调整光路、操作灵活方便

5自动环境补偿,保证测量高

规格参数

激光头尺寸                          265*90*78mm

激光头重量                          4Kg

激光工作波长                       1064nm

激光功率                              1-5mW

激光光束直径                       3-5mm

工作温度范围                        0℃-+40℃

系统组成                              激光头、控制箱、补偿传感器、笔记本电脑、连接电缆

激光稳频                        1*10-6

线性测量范围                        5m

线性测量                        1*10-6

分辨率                                  1nm

被测物反射率                          10-7——1

测量速度                          50mm/s