性能参数
型号QS-L1020/AF QS-L1020Z/AF QS-L1020Z QS-E1020
测量范围 (X 轴／ Y 轴／ Z 轴) 200 x 100 x 150mm
分辨率0.1μm
长度标准杆反射型线性编码器
测量 (20° C)* XY: (3+20L/1000)μm, Z: (5+6L/1000)μm
放大倍率物镜2.5X, 1X, 5X 0.5X - 3.5X 变焦0.5X - 3.5X 变焦2.5X, 1X, 5X
监视器105X (到 2.5X) 21X - 147X 21X - 147X 105X (到 2.5X)
图像探测装置高分辨率 1/3" 彩色CCD 照相机
照明表面：同轴光，光纤环行照明 ；轮廓：透射光
工作台玻璃尺寸269 x 261mm 269 x 311mm 269 x 261mm 269 x 311mm
工件高度150mm 150mm 150mm 150mm
工件重量10kg 10kg 10kg 10kg
尺寸 (W x D x H)、重量618 x 700 x 676mm, 56kg (618 x 752 x 682mm, 57kg: QS-E1020)
* 使用2.5x 物镜或者焦距调整为2.5x( 监控器倍率：105x)，L 为测量长度(mm)