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韩国气体质量流量计（M3030A）10sccm-30slpm
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深圳市汇创机电设备有限公司

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【各项技术参数】
ModelM3030VM3030A
  流量范围(N2)  10sccm ~ 30000sccm  5sccm ~ 30000sccm
相应时间  ≤2 sec  ≤2 sec
精准度  ≤±1% FS  ≤±1% FS
重复  ≤±0.25% FS  ≤±0.25% FS
 输入/输出信号  0~5 Vdc  0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
  耐压  ≤90 bar  ≤90 bar
  工作环境温度  0~50 °C  0~50 °C
漏率  1*10E-9 atm cc/sec  1*10E-9 atm cc/sec
 使用范围  2 ~ 100%2 ~ 100%