产品品牌：

美国MKS

产品型号：

910

工作压力：

1500torrMPa

紧凑型

1,910系列传感器保函一个直读式压电传感器和一个独特的MICROPIRANI传感器

2，测量范围从0.0001-1500torr

3，具有温度补偿功能，在大的测量范围中具有高的测量

4，有别于传统的PIRANI压力计，910系列组成部分的MICROPIRANI单元制作在一个一平方毫米硅芯片，能在很小的体积内进行压力测量

5，传感器敏感部分的尺寸很小，能测量从常压到10-5TORR