400波長以上的多频分光法，迅速量測出椭圆偏光光谱。

 自由变换反射量測角度，可得到更詳細的薄膜解析数据。

 反射角度自动可变的测量方式，對薄膜测量有更高的分析。

 搭载有薄膜解析所需的全角度同時测量功能。

 测量晶圆与金属表面的光学常数（n:屈折率，k:衰減係數）。

 

橢圓偏光儀 FE-5000反射式膜厚量測儀 FE-3000
膜厚光譜分析儀系統 MCPD series
膜厚分析儀FE-300

橢圓偏光量測（tanΨ,cosΔ）光學常數分析（n:屈折率，k:衰減係數）膜厚分析

样品对应尺寸:   100 × 100 mm测量方式:   旋转检光发入射/反射角度范围:   45 ~ 90°入射/反射角度驱动方式:   反射角度自动可变式波長测量范围:   300 ~ 800 nm分光元件:  Poly-chrometer尺寸:  650（H）×400（D）×560（W）mm重量:   約50kg