随着XE-150的推出，对大尺寸样品进行无损检测成为了一种切实可行的技术手段。XE-150分辨率高，性能稳定可靠。样品台可在150毫米见方或者200毫米见方的量程内自动移动，无论是扫描小尺寸样品还是大尺寸样品，操作起来都是得心应手。如使用Step-and-Scan功能可帮助用户按照定制的计划对多个目标区域进行连续自动扫描，极大的提高了检测效率。

技术参数(机械部分)：

1.  XY扫描器：100μm×100μm（闭环），可选配200μm×200 μm
2.  Z扫描器：12μm (可选配25μm)
3.  水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过2nm
4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5.  样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)
6.  样品尺寸：200mm×200mm
7.  光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)

1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE标准

标准工作模式：

. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
.  相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：

. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

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