考虑到众多预算有限用户对高性能AFM的需求,Park Systems精心设计并推出了XE-70这款经济型高性能AFM。XE-70果断放弃了部分成本较高的调节马达，坚决保留了所有XE系列产品的创新技术，并保证该款机型可与XE系列产品的各种扩展功能组件和选配件完全兼容。

技术参数(机械部分)：

1. XY扫描器：50μm×50μm（闭环），可选配100μm×100 μm（闭环）
2. Z扫描器：12μm (可选配25μm)
3. 水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过1nm
4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)

1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE标准

标准工作模式：

. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：：

. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点：

一、计量
XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现纳米计量的能力。

二、扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和。

三、非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。

四、CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。

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