低温等离子灭菌系统，等离子体表面改性处理仪，台式等离子清洗机
产品介绍：低温等离子灭菌系统（P/N:P-5）

P-5低温等离子灭菌系统是一款经济型的低温等离子灭菌系统，该款低温等离子灭菌系统提供了许多功能，而这些功能是其它竞争设备上无法找到的。PE-5低温等离子灭菌系统是专门为小型生产企业，研发实验室，检测中心，大学研制开发的。是一款用于等离子体灭菌和表面改性的理想低温等离子灭菌系统 。

低温等离子灭菌系统纵览

该低温等离子灭菌系统专门用于小规模的生产企业，研发机构和大学。 该低温等离子灭菌系统采用了防暴式矩形焊接铝合金材质真空舱，舱体尺寸为15厘米 宽 x 15厘米深 x 10厘米高；并设置直接供电的射频(RF)电极。

低温等离子灭菌系统的应用包括医疗设备，太阳能电池，印刷电路板，连接器，微机电系统（MEMS），纳米技术，晶圆级封装，接触眼镜以及其他许多相关的半导体工艺。

低温等离子灭菌系统特点  

正如所有低温等离子灭菌系统，P-5采用电容耦合（CCP）平行电极板设计，从而有效的产生等离子体。

与传统玻璃/石英圆筒舱不同的是，这些竞争设备不能穿透真空舱，因此被限制只能使用感应耦合的RF线圈缠在腔室的外部。 这是设置一种低效率方式，导致输入功率损失及相当低的蚀刻/清洁去除速率。

P-5低温等离子灭菌系统是由美国制造的部件组装而成，我们提供的业内客户服务和支持。

低温等离子灭菌系统可用于在控制的条件下，对各种不同材料的表面进行改性；从而避免了采用湿法清洗和蚀刻相关的安全危害和液体废料排放的问题。如果有效的表面处理效率对一个工艺很关键，或对于一个产品的可靠性至关重要的话，等离子技术可以提供解决方案。

P-5低温等离子灭菌系统被用于去除有机和无机污染物，提高润湿性，提高粘结强度，并除去残留物。 该工艺可用于各种产品中使用的材料，并认为是一种是有效的方式。

低温等离子灭菌系统规格

标准低温等离子灭菌系统配置

焊接铝合金真空舱：5厘米 宽 x 15厘米深 x 10厘米高
电极设置：单套 12.7 X 12.7厘米水平电极
射频电源：125瓦@50kHz射频电源
工艺气体控制：精密针形阀流量控制0-25 CC /分钟
真空监测系统：皮拉尼真空计0-1托
真空系统：5CFM氧气真空泵 （可与氧气等活性气体适配）
工艺存储：单处理顺序

可选配低温等离子灭菌系统配置
射频电源：100W@13.56MHz 射频（RF）电源和自动匹配器网络
灯条
精密质量流量计
更大真空舱可选配
更大平行电极可选配

低温等离子灭菌系统机电信息
电源： 220VAC，50Hz@ 14A
系统主机毛重：25公斤
真空泵毛重：15公斤
系统主机尺寸：36厘米 X 36厘米 X 46厘米
真空泵浦尺寸：18厘米×41厘米