l 的台阶再现性与线性度。

l 超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量。

l 采用超低噪音直动式LVDT，超低测定力的触针可任意调节。

l 配备高分辨率的CCD即时进行高定位测量。

l 可对应各种国际规范，测定参数多达60多种。

l 适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。