X、Y軸測量行程100-600mm

      Z軸調焦行程140

     重現性<0.003mm

     解析度標準0.001mm

     測量3+L/150um

     放大倍率連續變倍鏡頭20-120倍

     照明燈源白光LED燈源(上、下垂直投射)+側燈(鹵素燈)

     機台大小350x270mm     臺面荷重20Kg

     機台重量100Kg

外型尺寸

560x580x860mm

儀器電源AC  220/110V  50/60HZ