技术参数：

1.电子枪：高亮度、方便维护的钨灯丝电子枪

2.分辨率:

　二次电子:

　　高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV

　　高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项)

　　低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV

　背散射电子:

　　4.0nm @ 30kV

3.加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调

4.探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器

5. 50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台

主要特点：

1.分子泵真空系统

2.高稳定性、高亮度钨灯丝电子枪，满足高分辨观察和微观分析的要求

3.FEI独特的LFD低真空二次电子探测器

4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统

5.基于Windows XP的图形用户界面, 简单易用