SRP-4面铜探针技术参数：

--铜厚测量范围：

--化学铜：10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)

--电镀铜：0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)

--线形铜可测试线宽范围：8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)

--准确度：±1% (±0.1 μm)参考标准片

可用于CMI563,CMI700测厚仪之SRP-4探头。