等离子刻蚀仪
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产品属性
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舱体材质 | 石英玻璃 |
外形尺寸 | 450mmX450mmX200mm(不包括外置舱体) |
电 源 | 220V |
舱体尺寸 | 150mX150(直径)mm |
射频功率 | 150W |
射频频率 | 40KHz |
电 流 | 1.5A |
整机重量: | 13.5Kg |
真空装置 | 2XZ—1型真空泵 |
部件名称 | 数量 | 单位 |
主机 | 1 | 台 |
真空泵 | 1 | 台 |
真空抽气软管 | 1 | 根 |
舱内托盘 | 1 | 块 |
主电源线 | 1 | 条 |
备件保险管 | 4 | 个 |
技术使用说明书 | 1 | 本 |
合格证 | 1 | 份 |
保修单 | 1 | 份 |