DIENER   等离子清洗机

FemtoPCCE  创新触摸屏

适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻

外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm

反应室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm

气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道

射频发生器: 40kHz/100 W, 可调变输出功率

真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)

控制方式: 电脑控制 

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