小型离子溅射仪　 型号:BZ19-SBC-12库号：M121692   查看hh
主要性能指标：
玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸：Φ58mm
真空系统：直联旋片真空泵2L／S
真空检测：皮氏计
真空保护：20Pa配有微量气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体：气或氩气，配有氩气进气口和微量气调节