精密的花岗岩机座，包括高度(Z轴)调整装置；

高花岗岩测台，滚针轴承导轨，手动X,Y轴二轴金属光栅（可扩充为三轴），数频0.001mm；

高分辨率CCD B/W摄像机；

远焦平场光路LED投射光源

环形LED表面光源，适用于各种放大倍数的物镜；

高配置的控制和测量计算机；

正版Windows XP操作系统；

高1-4×手动变焦物镜；

专用图像处理软件TOPAS SOFT基本功能；

高1.5×远焦平场物镜.