测量范围（XYZ）：450 x 450 x 150 mm

 测量系统的尺寸（长/宽/高）约：132 x 102 x 170 cm，1300 kg

 XYZ轴光栅尺分辨率：0.5μm

 马达驱动：带有操纵杆控制的DC伺服马达（X，Y，Z，变焦）

 工作台：带有夹具孔和可拆卸式平台玻璃，其载重量为30kg。

 变焦镜：6.5：1，自动的

 视频系统：1/2"高分辨率彩色CCD，768 x 494像素阵列。

 照明：LED轮廓灯，同轴TTL表面灯，可编程的8区/6环的VectorLight™白色LED灯

 影像处理：10：1次像素分辨率，256灰色级