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1.      GD25粗糙度驱动器

（1）      测量长度                20mm

（2）      测速                    0.5 mm/s或0.1 mm/s,可调

（3）      直线度误差              0.2um/20mm

（4）      电动高度调整            4 mm

（5）      平面上手动调整倾斜      +10um/mm

2.      PCV200轮廓驱动器

（1）      水平驱动长度            置于concept轮廓仪上至200mm

（2）      轮廓垂直测量范围        50mm(相对零点为+/-25mm)

（3）      测力                    2Mn …...120Mn,工件倒置测量也可以.

（4）      直线度误差              <1um/200mm

（5）      X/Z方向定位        1 um

（6）      测针分辨率              0.25 um/ 175 mm测杆  0.5 um/350 mm测杆

（7）      系统分辨率              0.04 um

（8）      扫描速度                0.2 mm/s至8 mm/s

（9）      测量速度                0.1mm/s …..1mm/s

（10）  测角                    在光滑表面可抬升+12 mm

（11）  测量倾斜                驱动器可倾斜+/-45º以上进行测量

3.      ST500测量工作台

（1）      立柱移动为              500mm

（2）      大理石底座台面尺寸      700 x550 x 90mm

（3）      控制方式                电驱动控制

（4）      调整装置                配有倾斜

（5）      T形槽                  大理石平台有10mm

4.      粗糙度测量软件

（1）      测量原理                机械式指针接触测量配有MFW250,

（2）      测量量程                ±25, ±250, ±500 um

（3）      粗糙度轮廓分辨率        垂直方向: 50微米量程为0.8纳米

500微米量程为8纳米

（4）      水平方向:               0.56毫米为35纳米

1.75毫米为100纳米5.6毫米

350纳米17.5毫米为1微米

（5）      分辨率:                 垂直方向   60,000:1  

水平方向   16,000:1

（6）      垂直放大率              200,000

（7）      水平放大率              100,000

（8）                          优于ISO/DIN标准1级(相对误差<5%)

（9）      滤波器类型              按照DIN 4777规定的轮廓滤波器(数字式和相位修正

                         式),RC滤波器,按DIN4776规定的专用滤波器.

（10）  截止波长                0.08  / 0.25  / 0.8 / 2.5  /  8 mm

（11）  移动长度                0.56  / 1.75  / 5.6 / 17.5 mm

（12）  测量长度                0.4   /  1.25  / 4.0  / 12.5 mm

（13）  特殊移动长度            0.56 …..17.5mm可调

（14）  参数                    Ra, Rz, Rmax, S(RS), Sm(RSm), tp(RMr),Rp, Rdq, Pt,

      Rt, Rq, RzISO, R3z, PSm, PMr, Wt, Sk, Pc, Rk and all parameters as per DIN4776 (Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …) Analysis as per CNOMO (NR.05-015) : Ncrx, CPM, Nr, Pt, PtRmax, R,  AR , Nw, Wt, Wmax, W, AW，法国汽车工业(NR.05-015)标准分析: Ncrx, CPM, Nr, Pt, Rmax, R, AR, NW, Wt, Wmax, W, AW. DIN4776规定的参数(Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …)，Wa,Wt,Wc，EN ISO 13565标准: Rk, Rvk, Rpk, Rpkx, Rvkx，EN ISO 12085(Motif)标准: R, AR, W, AW, Rx, Wx, Wte, Nr, Ncrx, Nw, CMP, Sr, Sar, Sw, Saw

5.      轮廓测量软件

（1）     测量原理                触针法

（2）     传感器                  装在PCV200驱动器上的测尖和测臂.

（3）     测量范围                使用PCV200驱动器轮廓高度为50mm(或±5mm),

（4）     水平长度                200mm.

（5）     垂直放大率              2,000或更大

（6）     轮廓各取样点之间的距离  0.07 um当取样速度为0.1 mm/s

（7）     0.35 um当取样速度      0.5mm/s

（8）     参数                    曲率半径,角度,距离,坐标,回归直线的插入和创

作,圆,圆截         面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面.

（9）     校准                    校准操作.

6.      CT200型 X-Y置物工作台

（1）     两个坐标方向可移动      2.5mm ,旋转5度

（2）     工作台台面尺寸          200X200mm

7.      PCV轮廓校准装置

（1）标准球                   45mm陶瓷球和8mm红宝石球