仪器简介：

Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的新产品之一。是在FEI公司产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。

Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。

Quanta FEG和Quanta一样具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

技术参数：

1.分辨率：

　二次电子:

　　高真空模式1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV

　　高真空减速模式2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)

　　低真空模式1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV

　　环境真空模式1.4nm @ 30kV

　背散射电子:

　　高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV

　扫描透射STEM探测器:

0.8nm @ 30kV

2.加速电压200V～30kV,连续可调

3.高稳定性Schottky场发射电子枪

4.束流200nA

5.样品室压力达4000Pa

6.样品台移动范围

Quanta 250 FEG: X=Y=50mm

Quanta 450 FEG: X=Y=100mm

Quanta 650 FEG: X=Y=150mm

主要特点：

1.完全数字化系统控制，Windows XP操作系统

2.场发射环境扫描系统兼顾高分辨和样品多样性

3.数字电影功能可将观察过程记录为avi视频文件

4.稳定的大束流(200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析

5.可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析