能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。

 半导体／FPD检查显微镜MX61L                                                               观察影像实例
                                  
                                 晶圆（明视场观察）      晶圆（暗视场观察）
                                  
                                 晶圆（微分干涉观察）  彩色滤色片（透射观察）

UIS2物镜生成鲜明的观察影像

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。

 观察影像

    
  明视场观察                  暗视场观察                 微分干涉观察             荧光观察

程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上首例以95%以上的弥散比例保证了光学性能（波像差）的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元（奥林巴斯U-AFA2MA产品）。

MPLFLN/MPLFLN-BD系列产品

有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中，在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥卓越性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。

MPLFLN-BDP系列产品

特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥卓越性能的通用物镜。

LMPLFLN/LMPLFLN-BD系列产品

有着高水准色差校正的长工作距离平面半复消色差物镜。由于工作距离较长，能有效防止与有落差的样本的碰撞。统一了从5×到100×的瞳孔位置，切换物镜时不再需要切换DIC三棱镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。

MPLN/MPLN-BD系列产品

实现了视场数达22的良好平整度的平场消色差物镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。

SLMPLN系列产品

长工作距离降低了样本的损伤风险。在无色彩渗出的高对比度观察影像上，甚至可以观察到细微的线的宽度。

LCPLFLN-LCD系列产品

这款物镜适用于透过LCD面板等玻璃板来观察样本。校正环的采用实现了与玻璃厚度相符的像差校正。

半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格