微分干涉金相显微镜
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性能特点l  用途1)WX40系列为新型FPD检查显微镜,专为LCD行业/TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查;2)WX40系列机型采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查; l  特点1)WX40系列,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美;2)WX40系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源;3)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察;技术参数 (以下参数根据客户实际需求配置

配    置参    数
光学系统无限远色差校正光学系统
观察方法明场 / 斜照明 / 偏振光 / DIC
观 察 筒30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或50:50
目    镜PL10X/22平场高眼点目镜
转 换 器5孔内倾式转换器,带DIC插槽
物    镜无限远长工作距平场消色差金相物镜5X      LMPL5X /0.15             WD10.8mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜10X    LMPL10X/0.30            WD10mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜20X    LMPL20X/0.45            WD4mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜50X    LMPLFL50X/0.55        WD7.9mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜100X  LMPLFL100X/0.80      WD2.1mm
调焦机构粗微调同轴、粗调行程33mm,微调0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出
载 物 台4寸双层机械移动平台,行程105X105mm,带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮6寸三层机械移动平台,行程158X158mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动(选配)另可选配:8寸移动平台
照明系统反射:带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆;单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调;透射:单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调;带可变孔径光阑
偏光附件检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路
CTV接口1X、1/2X