电子制造工业中,对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测非常重要,OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了提高在全世界许多应用场所的可靠性和运转性能,OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径,无须接触被监测气体的监测系统,就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质, OPSIS系统具有高准确性、高可靠性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。 一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体,诸如为了符合电子厂的某些特别需求,监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……应用原理:差分吸收光谱法(DOAS)
系统结构:
技术特点:
- 无需抽取采样,不改变工况条件,在线实时连续测量
- TüV,MCERTS 等国际
- 烟道光路上平均浓度,代表性强
- 多气体,多光路技术(反应时间快)
- 使用寿命长,维护量小,运营成本低(耗件氙灯)
- 一年只需要校准 1-2 次
- 技术成熟,应用范围广