一.配置

1. 测量主机

     样品台

     样品观察部

      X射线发生部

     信号检测部

     电源供应部

1. 主机控制部

       X-ray Station操作简便的控制软件

二.功能规格

1. 测量元素

金属镀层是从原子序数22Ti到83Bi，当金属元素低于21Al时，用吸收法测量。

2．测量方法

   薄膜标准曲线法：单层镀层膜厚测量

                                     双层镀层膜厚测量

                                     合金镀层膜厚测量

薄膜FP（基本参数）法：各种薄膜，5层，各层10种元素

选项

块体检量线法（电镀液分析）

块体FP法（材料组成分析）

1. 数据处理功能

搭载Ms-Word,Ms-EXECL (使用宏支持制作检查成绩书)测量能谱与样品图象保存功能

1. 标准曲线制作功能

    测量条件自动设定功能

    多点标准曲线

    标准曲线斜率表示功能

    底材修正功能

    以知样品修正功能

    手动输入修正功能

1. 可测量厚度范围

原子序号22Ti——24Cr：0.2——20um    原子序号25Mn——40Zr：0.10——30um

原子序号41Nb——51Sb：0.2——70um    原子序号52Te——83Bi：0.05——10um 

           （可测量范围因元素而不同） 

三.仪器规格

测量主机：

1)       仪器外部尺寸：670*850*675mm

2)       重量：120KG

3)       X射线发生部

X射线管：w靶材微焦距

管电压：50KV

管电流：1mA可调

油箱：密封式空冷油箱

准直器：0.1mm，0.2mm（圆形）自动切换

滤波器：Al滤波器/OFF自动切换

4)       X射线检测器：比例计数器

5)       样品观察机构

样品照明：LED灯，上方照射

亮度调节：软件自动调节控制

观察：彩色CCD摄像头

放大倍率：30x

6）对焦方式：镭射自动对焦功能利用镭射焦点自动对焦

7）工作台：260*210mm电动XY平台