接触式硅片厚度测量仪Z-SCOPE

1、品名：12寸硅片厚度测试仪
2、用途：测量硅片厚度尺寸
3、工作原理：该仪器由传感器的侧头接触所需测量硅片表面,经测量模块传输至IBR显示器，人工读取测量值,连接电脑，电脑数据读取，可生成各种表格。
7、技术参数
 适合硅片：5’,6’ ,8’, 12”
 硅片厚度：50-1000um
 小分辨率: 0.1um
 重复性：0.2um
 系统:+/-0.15 um
 测量力: 0.7g
 收张行程: 5mm
 大理石平板: 00级
 设备尺寸：600*600*600mm