F6000系列

产品描述

炜盛 的F6000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了

一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同

时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本

的优点。

依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原

理，炜盛真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的

气体而导致的细微的电阻变化。

 皮拉尼真空传感器

该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜

上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的

25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保

精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容

积小），炜盛传感器能够提供超低的功耗和快速的

响应时间。

炜盛真空传感器还提供了

一个与测量电阻具有相

同电阻温度系数（TCR）

的基准电阻，布置在传

感器芯片基板上。传感

器电路可用它来进行环

境温度补偿。

由于具有可靠性高，成本低，使用简便和超低功耗的

逐项优点，采用MEMS工艺加工的，微型化的皮拉尼技

*术正在成为一个行业标准。炜盛 的F6000系列

MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋

势，以改善其现有的产品和开发新的产品。 

实际应用

 ·分析仪器

 ·使用前级真空的封闭系统的检漏

 ·半导体设备

 ·真空包装机

 ·便携式数字真空计

 ·小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度

 ·低成本真空开关来验证1托以下的真空度

指标

 ·工作温度：-40C至125C（可提供更高温度型号）

 ·湿度：0到100％RH，非冷凝

 ·耐冲击性：1000g

 ·超压：27.5Bar 

输出电压与真空的关系

加热电流=6毫安  温度= 25℃  测量电阻=156欧姆

电话：/

网址：www.winsensor.com