Yamatake山武 气体质量流量计 CMS系列 CMS9500BPRN000000
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CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000
气体质量流量计
（用于氢气和氦气）
CMS系列高可靠性气体质量流量计，使用了山武公司新近开发的
微流量传感器，这种传感器是感热式流量传感单元。
超小型结构、高传感器、高密度集成电路设计技术的结合使
这种仪表具有高、量程比大，且成本低的优点。