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OX400低浓度氧化锆氧气分析仪现场应用
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北京市重自仪自控科技开发有限公司

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OX400低浓度氧化锆氧分析仪

 -基于长期大量的现场应用经验开发而成

 OX400低浓度氧化锆氧分析仪高，可考性高，测量量程范围大，可测量从0-10PPM至0-100VOI%的氧气浓度。OX400是长期大量的现场应用经验积累和业绩基础研发的新机型。

氧化锆传感器采用了新型薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子键连接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保快速响应和超长寿命。

 OX400□-□P-□-□M/P带内置泵的盘装型

OX400□-□P-□-□M带内置泵的桌面型

OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸。

 

主要技术参数：

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式、抽提式等

样气条件

流速：200±25ml/min(仅适用于传感器)
温度：0～50℃(无结露)
湿度：无结露
压力：0～300PaG
容许压力：30kPaG

测量量程

0～10ppm O2至0～100vol% O2

输出量程

自动：

0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认)

固定：

设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%

部分：

可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出，第一路：4～20mA DC(负载电阻550Ω)，第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC(负载电阻：10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2点：

错误接点，O2浓度报警接点

指定量程范围输出1点：

接点输出

多选择器(选配件)：

流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

故障：

传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止

报警：

加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限

串口通信

RS-232，38400 bps

标定方法

(1)3点：10ppm，1000ppm，空气，(2)2点：可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA 

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm

质量

约5kg

管线连接

气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件：

室内，盘装或壁装，非易燃区域

环境温度：

0～40℃，无结露

环境湿度：

5～85%RH

储存温度：

-5～50℃

重复性

±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)

线性

±2%F.S.
±3%F.S.(0～100ppm或更低)

响应时间

90%响应
10秒内(0～1%或更高)
30秒内(小于0～1%)

漂移

±2%F.S./周