DSN-MFC气体质量流量控制器(MFC)

标准量程（N2）；0～1、2、3、5、10SLP；
准：±1％F.S；   重复：±0.2%F.S
响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
线性：±（0.5～1）％F.S  工作压差范围：0.05～0.3MPa
耐压：3，10MPa；  工作环境温度：5～65℃
输入输出信号电压：0～+5.00V(输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA)电源：+15V500mA、-15V500mA电连接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：约1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞....
                   VCR接头:Φ1/4〞.Φ1/8〞........