| 主要规格 | 规格描述 |
| X射线激发系统 | 垂直下照式X射线光学系统 |
| 空冷式微聚焦型X射线管，Be窗 |
| 标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等 |
| 功率：50W(4-50kV，0-1.0mA) |
| 装备有安全防射线光闸 |
| 二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 |
| 准直器系统 | 单准直器组件 |
| 多准直器自动控制组件：多可同时装配6种规格的准直器 |
圆形、矩形和多种规格尺寸准直器任选（红色为常用的）： | 类型 | 单位 | 准直器规格 | | 圆形 | mil | 4 | 6 | 8 | 12 | 13 | 20 | | mm | 0.102 | 0.152 | 0.203 | 0.305 | 0.33 | 0.508 | | 矩形 | mil | 1x2 | 2x2 | 0.5x10 | 1x10 | 2x10 | 4x16 | | mm | 0.025x0.05 | 0.05x0.05 | 0.013x0.254 | 0.254x0.254 | 0.051x0.254 | 0.102x0.406 |
|
| 测量斑点尺寸 | 在12.7mm聚焦距离时，小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>准直器) |
| 在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圆形12mil>准直器) |
| 样品室 | 开槽式样品室 |
| 样品台尺寸 | 610mm x 610mm |
| XY轴移动范围 | 标准：152.4 x 177.8mm<程控> |
| Z轴程控移动高度 | 43.18mm |
| XYZ轴控制方式 | 多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制；XY轴手动控制和Z轴程序控制；XYZ三轴手动控制 |
| 样品观察系统 | 高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 |
| 激光自动对焦功能 |
| 可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 |
| 计算机系统配置 | IBM计算机佳能或爱普生彩色喷墨打印机 |
| 分析应用软件 | 操作系统：Windows XP中文平台分析软件包：SmartLink FP软件包 |
| 测厚范围 | 可测定厚度范围：取决于您的具体应用。 |
| 基本分析功能 | 采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品； |
| 样品种类：镀层； |
| 可检测元素范围：Ti22 – U92； |
| 可同时测定5层/15种元素/共存元素校正； |
| 贵金属检测，如Au karat评价； |
| 材料和合金元素分析； |
| 材料鉴别和分类检测； |
| 多达4个样品的光谱同时显示和比较； |
| 元素光谱定性分析。 |
| 调整和校正功能 | 系统自动调整和校正功能，自动消除系统漂移 |
| 测量自动化功能 | 鼠标激活测量模式：“Point and Shoot” |
| 多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、重复测量模式 |
| 测量位置预览功能 |
| 激光对焦和自动对焦功能 |
| 样品台程控功能 | 设定测量点 |
| 连续多点测量 |
| 测量位置预览(图表显示) |
| 统计计算功能 | 平均值、标准偏差、相对标准偏差、值、小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图 |
| 任选软件：统计编辑器允许用户自定义多媒体书 |
| 数据分组、X-bar/R图表、直方图 |
| 数据库存储功能 |
| 系统安全监测功能 | Z轴保护传感器样品室门开闭传感器 |
