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图文详情
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产品属性
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简单介绍:光刻机:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光机,
URE-2000/17型光刻机技术性能与配置
该光刻机技术特征
1.光学系统:采用多点反射镜聚光和实现均匀照明,反射镜采用梯形反射镜,国内其他机型采用矩形反射镜,URE-2000/17具有更高的能量收集效率(Ф100mm范围内功率密度大于6mW/cm2)和照明均匀性(Ф100mm范围内均匀性可达±4%,国内同类一般低于±4%)。波长单一,光谱纯净。
2.照明光源汞灯:采用进口直流高压汞灯,光功率稳定。
3.操作十分方便:
(1)抽拉式掩模,同一块掩模多次曝,无须上下掩模。
(2)触摸开关操作,手感好,参数设置方便。
(3)数字设定曝光时间,倒计时曝光,曝光量可控制。
4.工艺适应性非常好,可适应的片子范围可达f10-f100mm的各种规则和不规则片,厚度可适应0.1mm—8mm。
掩模可适应2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸。这些所需的样片台和掩模吸盘均提供。国内同类大部分的样片台和掩模吸盘要么不能提供,要么收费提供。
5.对准显微镜:高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,既保证大视场又保证高倍率(倍率可达700倍)并提供USB输出;既满足高对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储。国内同类采用两个简易的单筒显微镜+CCD,不能目视,既不方便两个视场观测对准标记,在保证高倍率时不能保证大视场,保证大视场则不能保证高倍率。
6. 附件:真空泵配置无油干泵,既无污染,噪音也小。
7.外型:漂亮
(1) 计算机色套红色,非常漂亮(是其它厂商无法比的)
(2) 80%以上零件采用防绣材料,其余材料采用表面处理方法。
(3) 人机操作十分舒适
(4) 气管、电线:走暗线(国内同类一般管线凌乱)
8.品牌优势,该光刻机型号占有市场份额,已经出口过6台,售后服务有保证。
二.主要技术参数l 曝光面积:Ф100mm;
1、分辨力:1.5mm(胶厚2mm的正胶);
2、对准:±1mm;
3、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm;
4、 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;
5、样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±4%(Ф100mm范围);
6、掩模相对于样片运动行程:X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度;
7、汞灯功率:200W(直流);
8、曝光波长:365nm;
9 曝光能量密度:6mW/cm;l 曝光方式:定时(倒计时方式)。
应用领域
集成电路芯片、电子封装、微电子机械系统、微光学元件、红外探测器、生物电泳芯片、激光二极管光刻、光栅光刻,波导阵列光刻、液晶显示、声表器件、平板显示器、大尺寸光栅、
码盘刻划等
IOE
制造商
全新
CN