主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高：±1.0% S.P. (30-100% F.S.); ±0.3% F.S. (≤30% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet/Profibus/RS-485)可同时进行;

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)； SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

满量程流量
10sccm ~ 200slpm

满足RoHS规定所有要求