主要特性
稳定的气体流量控制，不受上游和下游气体压力波动的影响;
多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
超高，1%设置点保证;
超高纯，316L不锈钢，电子抛光，金属膜片隔离;
集成入口压力传感器，集成多种信号显示功能;
更紧凑气体输送解决方案 - 无需减压阀，压力变送器和气体过滤器;
小巧，紧凑式设计 – 50slpm以下，相同的接口尺寸;
信号兼容性 – 模拟式信号，RS485数字信号，及DeviceNet?;数字通信协议;
网络控制功能 - 数字信号控制;