日本horiba模拟质量流量控制器及流量计
价格:电议
地区:北京市
SEC-8000系列为压电控制阀
超高纯:全部金属结构,金属密封
采用特殊传感器及控制阀,适合于150°C高温烘焙
应用领域广泛:液态源蒸发输送控制,低挥发压力气体输送控制,金属有机源输送控制,腐蚀性气体输送控制,超高纯气体输送控制等
SEC-2000系列为热电控制阀
:±1.0% F.S.
线性度:± 0.5% F.S.
重复性:± 0.2% F.S.
流量控制范围:2 ~ 100% F.S. (SEC-8000); 5 ~ 100% F.S. (SEC-2000)
响应速度:< 2秒 (SEC-8000); < 6秒 (SEC-2000)
气体接触部件材料:SUS 316不锈钢 (SEC-8000);SUS 316不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封) (SEC-2000)
满量程流量
SEC8340S/8440S: 5sccm ~ 2slpm
SEC8450S: 3 / 5 / 10slpm; SEC8455S: 10 / 20slpm
SEC8460S: 20 / 30 / 50slpm
SEC8340LS/8440LS: 5sccm ~ 5slpm
SEC8450LS: 10 / 20slpm; SEC8455LS: 30 / 50slpm
SEC8460LS: 50 / 100 slpm
SEC-2410: 10sccm ~ 5slpm
SEC-2510: 10 / 20slpm
SEC-2551: 30 / 50 / 100slpm