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电子、光学纯水、超纯水设备出水标准:
· 中国电子行业超纯水国家标准GB/T11446.1-1997
· 实验室用水国家标准GB6682-2008
· 美国半导体工业用纯水指标
· 美国试验级用水标准ASTM/NCCLS
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