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图文详情
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产品属性
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VMS-3020H
产品特点
程控恒流驱动式四环四区表面冷光光源,可适应复杂的工作测量。
具有快速自动对焦,自动寻边,强大的编程和自动测量功能。
采用亚像五彩纷呈细分技术,提高边界分辨能力。
在线SPC数据处理分析,大批量冶具测量。
Xyz三轴步进伺服控制,定位高速度快,XY速度可达180mm/S,运行平稳。
采用自主开发的嵌入式模块控制系统,将复发的控制系统集成于仪器内部,稳定性更高。
采用花岗石底座,性能稳定,不易变形。
激光指示器指示测量位置,快速定位。
可选配自动变倍功能,无需像五彩纷呈校正实现多倍率下高效测量。
仪器型号 | VMS-2515H VMS-3020H VMS-4030H | |
工作台 | 金属台尺寸mm | 450*280 500*330 606*466 |
玻璃台尺寸mm | 306*196 350*250 450*350 | |
运动行程mm | 220*120 270*170 370*270 | |
z轴升降行程mm | 150(调焦) 150(调焦) 150(调焦) | |
xyz轴数显分辨率 | 0.5μm 0.5μm 0.5μm | |
Xy坐标示值误差 | (3+L/75)μm L为被测长度,单位:mm | |
仪器重量KG | 146 168 266 | |
外形尺寸mm | 760*600*900 970*670*940 |
铁龙仪器
国产