双面研磨设备工作原理:
1.本系列研磨机为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。
2.本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
双面研磨设备技术参数:
型 号 SX-4B SX-5B SX-6B SX--7BG SX--9B
研磨盘规格: φ200×φ100×12t φ300×φ120×12t φ380×φ140×12t φ510×φ200×12t φ635×φ240×12t
加工工件尺寸 φ60mm φ100mm φ130mm φ165mm φ200mm
工件平面度(25mm) ±0.1u以内 ±0.1u以内 ±0.1u以内 ±0.1u以内 ±0.2u以内
工件平行度(25mm) ±0.2u以内 ±0.2u以内 ±0.2u以内 ±0.2u以内 ±0.4u以内
工件粗糙度(石英材料) 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内
研磨盘修面后平行度 ±1u以内 ±1u以内 ±1u以内 ±2u以内 ±2u以内
游轮规格 φ80mm φ125mm φ155mm φ190mm φ230mm
游轮数量 5 枚 5 枚 5 枚 5 枚 5 枚
下研磨盘转速 0~180rpm 0~180rpm 0~180rpm 0~140rpm 0~140rpm
下研磨盘电机功率 0.4kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.75kw 3相380V 1.5kw 3相380V 2.2kw 3相380V
上研磨盘研磨转速 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm
上研磨盘电机功率 0.2kw 3相380V 0.2kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.75kw 3相380V 1.5kw 3相380V
上研磨盘修面转速 0~180rpm 0~180rpm 0~180rpm 0~140rpm 0~140rpm
上研磨盘修面电机功率 0.2kw 3相380V 0.2kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.75kw 3相380V
太阳轮转速 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm 0~60rpm
太阳轮电机功率 0.2kw 3相380V 0.2kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.75kw 3相380V
外齿轮转速 0~30rpm 0~30rpm 0~30rpm 0~30rpm 0~30rpm
外齿轮电机功率 0.2kw 3相380V 0.2kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.4kw 3相380V 0.75kw 3相380V
修面机速度 200mm/分钟 200mm/分钟 200mm/分钟 200mm/分钟 200mm/分钟
修面机伺服马达功率 750w 750w 750w 750w 750w
外形尺寸: 680×1000×2100mm 740×1100×2200mm 800×1200×2300mm 1000×1450×2400mm 1200×16150×2400mm
重量: 760kg 850kg 1100kg 1600kg 2300kg
双面研磨设备主要用途:
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高研磨、抛光。更多关于平面研磨机 平面抛光机 研磨抛光机 蓝宝石衬底抛光。
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