UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。

紫外臭氧清洗可以去除：
皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。

怎样说是“超”洁净？
接触角测量方法4－5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下，使用清洗或是超声清洗工序后，清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用，产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。

紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗设备的是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。

*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。

主要型号：
深圳慧烁机电的novascan紫外臭氧清洗机系列：本产品分为四种系列，1低样品台型，2基础性升降工作台型，3数字控制时间型，4加热型。不同型号对应不同功能。详情可咨询慧烁机电北京办事处。

分别的功能特性有1：工作台高度可调，以适应不同高度的样品。2：带加热功能，能极为有效的激发分子活性，达到强光清洗效果。3：能够自由数字设定清洗时间。4：意外防护功能，如果不小心打开门板，能自动关闭灯光，保护实验人员不受紫外线辐射。

所有慧烁翻盖式紫外清洗机，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。所有慧烁紫外臭氧清洗机配备一个带反射罩的高强度UV格栅状灯管。4英寸或者更大尺寸的慧烁清洗机具有进出气接口。该系统的曝光时间控制是由一个便捷的预设置时间控制器控制，非常容易操作。

功能特性：

       *紫外线防护，开门自动关闭紫外线灯管防止意外辐射。

       *工作台高度升降可调，以适应不同类型，规格，高度的样品。

       *可选加热功能      
       *可选档位时间控制或者数字时间控制
       *方便的简单按键操作
       *固定时间档：15.30.60.120分钟，或数字控制时间
       *工作进程可以在任何时候手工终止
       *容易安装和使用
一般特性：
翻盖式 ：翻盖式设计，方便取放样品。

设备材料：铝合金托板，重量轻。设备总体积小。

灯  管 ：盘状密集型灯管，清洗效果的保证。灯管寿命大于5000h。

电    源   ：标准220V交流电压。告别380V电压束缚。
样品高度：样品台与灯管之间的高度可调，可以适应不同类型，规格，高度的样品。
样品放置：打开紫外臭氧清洗机清洗腔上盖，露出样品台，允许360度装入样品。
进出气口：标准配置2个气接口，可自定义实验条件，可额外通氧气。
加热可选：托盘带加热功能，可加热至150摄氏度。
臭氧中和器：可选的臭氧中和器是清洗之后中和臭氧的便捷配置，无需其他抽风条件。

安全装置：当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，防止紫外线意外辐射。

更多紫外臭氧清洗机资料详询：

慧烁机电北京办事处           吴先生

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