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HPC1100高压控制器
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HPC1100高压控制器美国LIGHTHOUSE高压气体控制器 HPC1100高压扩散器


 

HPC 1100

 

 

1100高压控制器

设计采用了新的技术，在高压气体成分，HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压（30-150 psi）的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。

HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用，可靠，几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中，惰性气体可被回收-采样过程中使用100％的供气。

 

LIGHTHOUSE产品，值得您的选择。


 

特征

优点

应用

  • 可用于任何惰性气体

  • 轻松设置

  • 安装简单

  • 前置流计

  • 直观的用户控制

  • 安静的操作

  • 快速清除和清理

  • VCR接头内部和外部

  • 不锈钢结构

  • 在正常操作过程中的零气体废物

  • 近常压输出

  • 低噪声

  • 小尺寸

  • 便于系统集成

  • 2年保修的

  • 较低的拥有成本

 

  • 工艺鉴定

  • 半导体制程监控

  • 平板过程监控

  • 过程趋势分析

 

规格

粒径范围

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

输出压力

接近大气压

输入压力

30-150 psi

兼容气体

氮，氩气，氦气

运行噪音

<60 db

外壳

不锈钢

材质

316L 不锈钢

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

配件

随机配件

采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽；套圈

可选件

备用采样管; 1/4英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)


本公司为美国莱特浩斯LIGHTHOUSE中国区域授权代理商，国内的莱特浩斯产品供应及售后需求都可以我司联系，联系人：宋涛  欢迎致电咨询LIGHTHOUSE产品服务