測定膜厚範囲	サンプルサイズ	光学系	サンプル 供給方式	測定項目
反射分光膜厚計
FE-3000 series	1nm～1mm	200mm×200nm 以上	顕微	バッチ?連続*1	膜厚、屈折率、 消衰係数、 絶対反射率
FE-300	10nm～1.5mm	8インチウエハー	ファイバーレンズ	バッチ
FE-3	0.8μm～1mm	- *2	ファイバーレンズ	バッチ?連続
MCPD series	0.8μm～1mm	- *2	ファイバーレンズ	バッチ?連続	*3
分光エリプソメータ
FE-5000 series	0.1nm～1μm	100mm×100nm 以上	エリプソメトリー	バッチ?連続*1	エリプソメータ、膜厚、屈折 率、消衰係数、絶対反射率
FE-5000S	0.1nm～1μm	100mm×100nm以下*4	エリプソメトリー	バッチ

*1 大型ステージ、ローダーなど組み込んだ装置の設計?製造も可能です。
*2 対応するサンプルサイズは、仕様により異なります。
*3 上記測定項目に加え、他の用途にも応用できます。
*4 小サンプルについてはお問い合わせください。反射分光膜厚計 FE-3000 series薄膜から厚膜まで！
大型ステージなど高い拡張性有

膜厚レンジ	1nm～1mm
測定波長範囲	230nm～1600nm

分光エリプソメータ FE-5000 series超薄膜?多層膜などの高測定
大型ステージなど高い拡張性能有

膜厚レンジ	0.1nm～1μm
測定波長範囲	250nm～2000nm

膜厚モニター FE-300コンパクト?低価格?高性能！
簡単操作で高膜厚測定

膜厚レンジ	10nm～1.5mm
測定波長範囲	300nm～1600nm

卓上型分光エリプソメータ FE-5000Sコンパクト?低価格?高性能！
紫外から近赤外まで幅広く対応

膜厚レンジ	0.1nm～1μm
測定波長範囲	250nm～2000nm

組み込み型膜厚モニター FE-3製造ライン上でリアルタイム測定！
遠隔測定?多点測定

膜厚レンジ	20nm～240μm
測定波長範囲	430nm～1600nm

膜厚測定システム MCPD seriesオプティカルファイバーと多彩なオプションユニットで自由な測定系

膜厚レンジ	0.8μm～1mm
測定波長範囲	230nm～1600nm