性能指标：光学系统规格

物镜		目镜		显微镜	工作距离	视场直径
放大倍数	焦距	放大倍数	焦距	放大倍数
2.5×/0.08	43.40	10×	25.00	25×	58.84	5.6
10×/0.25	17.13			100×	7.81	1.6

测量工作台读数装置主要规格
X轴遇到测量范围50nmY轴遇到测量范围13nm测量器分度值：0.01nm测量台转动范围不限：NO limit测量台刻度盘分度范围：0°～360°测量台刻度盘之分度值：1°测量台刻度盘游标读数示值：6’测量：仪器示值误差：± （4+L/15）μ m仪器示值误差：包括测量误差和系统误差注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度