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FPD/LSI检查显微镜
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北京新卓仪器有限公司 尼康

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FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型

集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到新的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的检查。

观察样品:
ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。 观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）； 使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮； 物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求； 主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能； 光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；                 L300ND/反射.透射照明两用型  

规格

　

ECLIPSE L300N
(落射照明型）

ECLIPSE L300ND
（透射/落射照明型）

    主机

内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源
用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、光圈叶片控制器

物镜转换器：具备物镜转换器
对中功能的电动通用六座物镜转换器

          —

反射/透射切换器

调焦部分

对焦部:行程29mm
粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能)
微调:0.1mm/转(以um为单位)

反射照明部

12V50W高亮度卤素灯照明装置
孔径光阑（电动.可调心)、视场光阑（固定.带对焦目标)
可插入小孔光阑滑块(OPTION)
可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器
观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光（仅用于L300N/L300ND/L200ND）

透射照明部

　        —

12W50W高亮度卤素灯照明装置
内置孔径光阑
内置LWD聚光器

    接口

USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1

    镜筒

L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°）
视场数25、光分光100：0/0：100
L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°）
视场数25、光分光100：0/20：80
LV-T13正立三目镜筒
视场数25、光分光100：0/0：100

    目镜

CFI目镜

    物镜

CFI60系列物镜

   载物台

14x12载物台、行程354mmx302mm（透射观察范围：354mmx268mm）
带粗/微动切换功能
微动手轮位置固定

防静电功能

从1000到10V放电时间在0.2秒以内

     耗电

1.2A/90W

     尺寸

约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时）