仪器简介：
Veeco的NEXUS原子层沉积模块能沉积具有高保形和高击穿电压的先进的薄膜磁头的绝缘间隙材料。ALD模块和GMR传感器模块能集束结合提供理想的工艺联合加工。 
 


主要特点：
Veeco的NEXUS原子层沉积模块能沉积具有高保形和高击穿电压的先进的薄膜磁头的绝缘间隙材料。ALD模块和GMR传感器模块能集束结合提供理想的工艺联合加工。