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无接触式厚度电阻率测量仪
价格：电议
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上海双尔电子科技有限公司

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硅片要求     规格：               方片125×125mm 、156×156mm

                            圆片 3"、4"、5"、6"、8"

 

测量功能      厚度：               单点及多点厚度

 

            TTV:                 总厚度偏差

 

            体电阻率：           单点及多点电阻率

 

            TRV:                 总体电阻率偏差

 

测量指标      厚度   范围：        150-1000μm  

                 测量误差:     ≤±1.0μm

              重复性1σ:    ≤0.2μm  

 

         TTV    范围：        0.0-200.0μm

               测量误差：    ≤±0.50μm

               重复性1σ:    ≤0.2μm

 

         电阻率  范围：        0.1-30Ω.cm

                测量误差：    ≤±3.0%*R

                   重复性1σ:    ≤1.5%*R

 

设备尺寸             360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)