典型应用

微光学

半导体光刻

TYPICAL APPLICATIONS
Micro-Optics
Semiconductor  lithography
Development  mask  work

  威思曼高压电源HTEM高压电源主要用于精密电子束应用如半导体纳米光刻，微光学。它的超低纹波和稳定性使其非常适合使用于这些苛刻的应用。固体封装的高电压部分消除任何用户的维修问题，全数字化控制，过压、过流、拉弧保护。

输入电压：
单相220VAC，±10％，50/60HZ
输出电压：0-100KV，负极性。 EXTER应受开关可选
到105kV，±500伏特
输出电流：
0 -10μA，低范围
0-100μA，高范围
开关可选
线性调整率：指定的输入额定电压的±0.001％，电压范围
负载调整率：≤20V为25μA至60μA的电流变化和60μA至25μA
纹波：
≤75mV峰峰值
局部高压放电：大于200mV以下
稳定性：0.001％，每8小时后，6小时的战争m，，为温度为20°C±0.2 °C，
温度系数：
每摄氏度50ppm，超过10°C至40°C范围内
环境：
工作温度：0到40摄氏度
存储温度：-40至85摄氏度
湿度：10％到90％RH，非冷凝
冷却方式：
强制通风控制机箱;
对流冷却高压机箱