球栅尺SPHEROSYN
 球栅尺MICROSYN
测量分辨率
 0.005mm/0.001mm
 0.001mm/0.0005mm
测量准确度
 ±(0.01+0.005/m)mm
 ±0.005mm
运行速度
 2m/sec
 0.75m/sec
有效行程
 50～11684mm(>30m)
 50～1050mm
信号输出
 Sin/Cos或RS422-TTL
 Sin/Cos或RS422-TTL
读数头尺寸
 54mm×131mm×28mm
 35mm×75mm×25mm
防护等级
 IP67(IEC529)
 IP67(IEC529)
抗冲击
 100g(IEC69-2-6)